高端有源医疗装备技术展了解到，超低损耗氮化硅薄膜光波导晶圆加工是一种高精度微纳加工技术，特别适合用于光电子器件如传感器、滤波器和集成光学电路。氮化硅（Si3N4）因其高折射率和低损耗特性，广泛用于光波导制造。